RPH varia di grandi dimensioni che RNP

[microwaver]

Non elevato valore resistenza poli (RPH resistenza grandi fogli) processo di variare molto grandi rispetto al foglio di piccole poli (RNP)? Ho cercato il PDK e non ha trovato, qualcuno può darmi qualche spiegazione o riferimento?

 

[rfsystem]

La concentrazione di umidità è più difficile da controllare a un livello inferiore.Il nonsilicide cancello poli sono circa 50 volte il doping.Più stabile.

Anche la TC sono diversi.A bassa rsq hai positivo.RPH avrà negative.