non ci sono problemi in questo layout?

[renwl]

metallo 4
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via3
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metal3
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via2
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metallo 2
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via1
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metal1
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Contatto
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poly2
poly1

Voglio disegnare una linea su metallo 4 dal condensatore doppia poli.ci sono dei problemi quando ci sono così tanti vias il poli?è affidabile il processo?

 

[eeliuliu]

essa può aumentare la resistenza serie e cap parassitarie.se la frequenza di lavoro non è molto alto, credo che sia ok!

 

[renwl]

frequecny è il circuito a bassa frequenza.
perché il vias bisogno di calore di processo e CMP, il vias media più fasi di processo più il poly.Voglio sapere, è incidere sulla reliablity?
grazie

 

[pyth2004]

salve,

Il processo è stato utilizzato è la lucidatura chimica meccanica?se no, la superficie di strati metallici superiori non sarà piatta in particolare sulla parte superiore del tappo doppio poli.Causerà più di incisione di fili di metallo sopra il bordo del tappo poli e avrebbe tagliato.

renwl ha scritto:

metallo 4

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via3

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metal3

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via2

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metallo 2

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via1

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metal1

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Contatto

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poly2

poly1Voglio disegnare una linea su metallo 4 dal condensatore doppia poli.
ci sono dei problemi quando ci sono così tanti vias il poli?
è affidabile il processo?

 

[renwl]

Io non so anche il processo di utilizzare la CMP o meno.
come faccio a saperlo?
Penso che sia un passo standard di processo, giusto?

 

[williamy]

ora in corso VLSI standard, il CMP è spesso utilizzato.Inoltre, è possibile in modo uniforme il layout vias