lo spessore degli strati di metallo in 0.25/0.18um processo

[zhonghan]

Qualcuno può dire il valore approssimativo dello spessore degli strati di metallo nel processo 0.25/0.18um?Voglio fare un confronto tra essa e che, in 2um processo bipolare per valutare la massima densità di corrente che il metallo può tollerare.

 

[GDF]

Lo spessore del metallo dipende dalla tecnologia di fonderia.Ma è spesso
meno di 0.9um a meno di metallo ultra spessore è stata adottata.

 

[zhonghan]

0.9um sembra un po 'di spessore che la mia valutazione.se 1.5um dello strato di metallo in un processo bipolare è ragionevole, a 1 um di metallo larga può consentire 2mA max corrente di fluire attraverso di essa.Sembra anche un po 'piccola.

 

[Colbhaidh]

I primi 5 strati sono in genere 0.8um e il 1.2um top in metallo (più spesso di metallo in alto per l'efficienza di legame. Spessori Questi includono i metalli barriera (Ti / TiN al OIF fondo alla pila e lo stagno in alto). Per 0.18um, dove tutti i dielettrici interlivellari tra i metalli sono planarised utilizzando chimici lucidatura meccanica e le spine di tungsteno sono utilizzati per collegare tra gli strati, le prestazioni elcromigration di questi processi di back-end spesso fuori eseguire vecchie tecnologie. Questo perché i processi più vecchi non hanno il planarise dielettrici altro metallo e così il metallo più spesso assottigliato superano gradini o discontinuità forte soprattutto a contatti o vias. Perciò, anche se il processo di sepcifies 2.0um di metallo, si potrebbe in realtà sottile giù 0.5um nei luoghi.