Che cosa è "iscritto wafer diretta"?

[Shaq]

Cari tutti,

Come io sto leggendo corrispondenti proprietà dei transistor MOS, che è stato scritto da Pelgrom, et al.

In questo documento, ha sottolineato "la scrittura wafer diretta" (DWW).

Ho appena cercato la parola chiave su Google, ma non trovò nulla.

Se qualcuno sa di che, plz tell me.

Grazie !!!!! così così così così

 

[truejiaqi]

Immagino che possa essere riferimento per l'esposizione "fascio di elettroni" a fare un disegno sul wafer, dove invece di utilizzare una maschera e una luce UV, usano fasci di elettroni a sparare sul wafer.Poi è anche necessario uno speciale materiale chimico che è sensibile a questa e-beam.
Questo è richiamato dalla mia memoria indietro nel collegio del corso di tecnologia IC.Così si prega di confermare con altre persone o fonti.
Buona fortuna!